Описание и характеристики

GD-70D – стационарный газоанализатор со встроенным ЖК-экраном и насосом для измерения широкого спектра токсичных газов, используемых при производстве полупроводников. Прибор оснащен выходом 4-20 мА для передачи сигнала на РСУ или ПЛК, а также встроенным веб-сервером для удаленного мониторинга и обслуживания газоанализатора.

ОСОБЕННОСТИ
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
СПИСОК ИЗМЕРЯЕМЫХ ГАЗОВ

• Единая платформа (основной блок/датчик/насос) для всех типов датчиков
• Интеллектуальные датчики
• Большой ЖК-экран со шкалой
• Интерфейсы 4-20 мА, NT, PoE - на выбор
• Встроенный веб-сервер для удаленного мониторинга
• Функция самодиагностики
• Простота установки и обслуживания
• Широкий перечень измеряемых газов

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Модель	GD-70D
Измеряемый газ	Токсичные газы
Принцип измерений	Электрохимический (ESU)	Полупроводниковый (SGU)	Пиролизный (SSU)	Гальванический (OSU)	Керамический (NGU)
Диапазон измерений	Зависит от измеряемого газа
Пороги сигнализации	Зависит от измеряемого газа
Погрешность	±5% показания или ±2%LEL
Время установления показаний	Т90 = 30 с
Метод отбора	Принудительный, 0,5 л/мин
Экран	ЖКД с цифровой индикацией концентрации, наименования газа, расхода, статуса соединения, статуса пиролизатора и неисправностей
Выход	4-20 мА
Интерфейс	PoE (IEEE802.3af)
Макс.расстояние передачи сигнала	1,25 км. (кабель CVVS 1,25 мм2)
Источник питания	DC 24В
Рабочая температура	0°C - +40°C, влажность от 30% до 70% без конденсации
Габариты и вес	70 x 120 x 150 мм, 0,9 кг.
Гарантия	12 месяцев

СПИСОК ИЗМЕРЯЕМЫХ ГАЗОВ

Газ	Химическая формула	Номер CAS	Диапазон измерения
Азотная кислота	HNO3	7697-37-2	0 - 20 ppm
Аммиак	NH3	7664-41-7	0 - 75 ppm
Арсин	AsH3	7784-42-1	0 - 0,2 ppm
Ацетилен	C2H2	74-86-2	0 - 5000 ppm
Ацетон	C3H60	67-64-1	0 - 2000 ppm
Ацетонитрил	CH3CN	75-05-8	0 - 2000 ppm
Бром	Br2	7726-95-6	0 - 1 ppm
Бромоводород	HBr	10035-10-6	0 - 6 ppm
Бутадиен	C4H6	106-99-0	0 - 2000 ppm
Винилиденфторид (VDF)	C2H2F2	75-38-7	0 - 1000 ppm
Винилхлорид (VCM)	C2H3Cl	75-01-4	0 - 1000 ppm
Водород	H2	1333-74-0	0 - 2000 ppm
Гексаметилдисилазан (HDMS)*	C6H18NSi2	999-97-3	0 - 30 ppm
Гексаметилдисилоксан (HMDSO)*	C6H18OSi2	107-46-0	0 - 5 ppm
Гексан	n-C6H14	110-54-3	0 - 2000 ppm
Гексафторацетилацетон (Hhfac)	C5H2O2F6	1522-22-1	0 - 20 ppm
Гексафторбутадиен	C4F6	685-63-2	0 - 5000 ppm
Гексафторид вольфрама	WF6	7783-82-6	0 - 9 ppm
Гексафторид молибдена	MoF6	7783-77-9	0 - 9 ppm
Гексафторпропилен	C3F6	116-15-4	0 - 2000 ppm
Гексахлорид вольфрама	WCl6	13283-01-7	0 - 15 ppm
Гидразин	N2H4	302-01-2	0 - 5 ppm
Дейтерий	D2	7782-39-0	0 - 2000 ppm
Декан	C10H22	124-18-5	0 - 2000 ppm
Диборан	B2H6	19287-45-7	0 - 0,3 ppm
Диметиламин (DMA)	C2H7N	124-40-3	0,9 - 15 ppm
Диметилацетамид (DMAC)	C4H9NO	127-19-5	0 - 4000 ppm
Диметилформамид (DMF)	C3H7NO	68-12-2	0 - 50 ppm
Диметоксидиметилсилан (DMDMOS)*	C4H12O2Si	1112-39-6	0 - 15 ppm
Диоксид азота	NO2	10102-44-0	0 - 15 ppm
Диоксид кремния	SiO2	7631-86-9	0 - 10 мг/м3
Диоксид серы	SO2	7446-09-5	0 - 6 ppm
Дисилан	Si2H6	1590-87-0	0 - 15 ppm
Дихлорметан	CH2Cl2	75-09-2	0 - 2000 ppm
Дихлорсилан	SiH2Cl2	4109-96-0	0 - 15 ppm
Дихлорэтан (EDC)	C2H4Cl2	107-06-2	0 - 500 ppm
Диэтиламин (DEA)	C4H11N	109-89-7	0,2 - 15 ppm
Диэтоксиметилсилан (DEMS)*	C5H14O2Si	2031-62-1	0 - 15 ppm
Закись азота	N2O	10024-97-2	0 - 500 ppm
Изобутан	i-C4H10	75-28-5	0 - 2000 ppm
Изобутилен	i-C4H8	115-11-7	0 - 2000 ppm
Изопропиловый спирт (IPA)	C3H8O	67-63-0	0 - 2000 ppm
Йод	I2	7553-56-2	0 - 1 ppm
Йодоводород	HI	10034-85-2	0 - 5 ppm
Карбонилсульфид	COS	463-58-1	0 - 5000 ppm
Карбонилфторид	COF2	353-50-4	0 - 6 ppm
Кислород	O2	7782-44-7	0 - 100%
Метан	CH4	74-82-8	0 - 20000 ppm
Метиламин (MMtA)	CH5N	74-89-5	0 - 15 ppm
Метиловый спирт	CH3OH	67-56-1	0 - 5000 ppm
Метилортосиликат (QMS)*	C4H12O4Si	681-84-5	0 - 15 ppm
Метилпирролидин (NMP)	C5H9NO	872-50-4	0 - 1000 ppm
Монометиловый эфир пропиленгликоля	C4H10O2	107-98-2	0 - 2000 ppm
Монометилсилан	CH3SiH3	992-94-9	0 - 20 ppm
Муравьиная кислота	CH2O2	64-18-6	0 - 15 ppm
Озон	O3	10028-15-6	0 - 0,6 ppm
Оксид азота	NO	10102-43-9	0 - 100 ppm
Оксид углерода	CO	630-08-0	0 - 300 ppm
Оксихлорид фосфора	POCl3	10025-87-3	0 - 15 ppm
Октаметилциклотетрасилоксан (OMCTS)*	C8H24O4Si4	556-67-2	0 - 3 ppm
Октан	C8H18	111-65-9	0 - 3000 ppm
Октафторциклопентен	C5F8	559-40-0	0 - 2000 ppm
Пентафторид мышьяка	AsF5	7784-36-3	0 - 9 ppm
Пентафторид фосфора	PF5	7647-19-0	0 - 9 ppm
Пентахлорид молибдена	MoCl5	10241-05-1	0 - 15 ppm
Пентахлорид мышьяка	AsCl5	22441-45-8	0 - 15 ppm
Пентахлорид сурьмы	SbCl5	7647-18-9	0 - 15 ppm
Пентахлорид фосфора	PCl5	10026-13-8	0 - 15 ppm
Перекись водорода	H2O2	7722-84-1	0 - 3 ppm
Пиридин	C5H5N	110-86-1	0 - 500 ppm
Пропан	C3H8	74-98-6	0 - 5000 ppm
Пропилен	C3H6	115-07-1	0 - 5000 ppm
Селенистый водород	H2Se	7783-07-5	0 - 0,2 ppm
Сероводород	H2S	7783-06-4	0 - 30 ppm
Силан	SiH4	7803-62-5	0 - 15 ppm
СНГ (LPG)	---	---	0 - 10000 ppm
Тетрагидрид германия	GeH4	7782-65-2	0 - 0,8 ppm
Тетраметилсилан (TMS)	C4H12Si	75-76-3	0 - 15 ppm
Тетрафторид кремния	SiF4	7783-61-1	0 - 9 ppm
Тетрафторид серы	SF4	7783-60-0	0 - 9 ppm
Тетрахлорид германия	GeCl4	10038-98-9	0 - 15 ppm
Тетрахлорид кремния	SiCl4	10026-04-7	0 - 15 ppm
Тетрахлорид олова	SnCl4	7646-78-8	0 - 15 ppm
Тетрафторэтилен	C2F4	116-14-3	0 - 5000 ppm
Тетраэтоксисилан (TEOS)	C8H20O4Si	78-10-4	0 - 15 ppm
Толуол	C7H8	108-88-3	0-100%LEL
Трибромид бора	BBr3	10294-33-4	0 - 6 ppm
Триметиламин (TMA)	C3H9N	75-50-3	0 - 15 ppm
Триметилборат (TMB)*	C3H9BO3	121-43-7	0 - 1000 ppm
Триметилсилан (TRIMS)	C3H10Si	993-07-7	0 - 15 ppm
Триметилфосфат (TMOP)*	C3H9O4P	512-56-1	0 - 10 ppm
Триметилфосфит (TMP)*	C3H9O3P	121-45-9	0,8 - 3 ppm
Триметоксисилан (TRIMOS)*	C3H10O3Si	2487-90-3	0 - 15 ppm
Трисилиламин	Si3H9N	13862-16-3	0 - 15 ppm
Трифторид азота	NF3	7783-54-2	0 - 30 ppm
Трифторид бора	BF3	7637-07-2	0 - 9 ppm
Трифторид мышьяка	AsF3	7784-35-2	0 - 9 ppm
Трифторид фосфора	PF3	7783-55-3	0 - 10 ppm
Трифторид хлора	ClF3	7790-91-2	0 - 0,6 ppm
Трихлорид бора	BCl3	10294-34-5	0 - 15 ppm
Трихлорид мышьяка	AsCl3	7784-34-1	0 - 15 ppm
Трихлорид фосфора	PCl3	7719-12-2	0 - 10 ppm
Трихлорсилан	SiHCl3	10025-78-2	0 - 15 ppm
Трихлорэтан	C2H3Cl3	71-55-6	0 - 2000 ppm
Трихлорэтилен	C2H2Cl2	79-01-6	0 - 3000 ppm
Триэтилборат (TEB)*	C6H15BO3	150-46-9	0 - 1000 ppm
Триэтилфосфат (TEOP)*	C6H15O4P	78-40-0	0 - 2 ppm
Уксусная кислота	C2H4O2	64-19-7	0 - 30 ppm
Уксусный альдегид	СH3СHO	75-07-0	0 - 100 ppm
Фосфин	PH3	7803-51-2	0 - 1 ppm
Фреон R-32	CH2F2	75-10-5	0 - 10000 ppm
Фреон R-41	CH3F	593-53-3	0 - 10000 ppm
Фреон R-123*	C2HF3Cl2	306-83-2	0 - 100 ppm
Фреон R-134a	C2H2F4	811-97-2	0 - 5000 ppm
Фреон R-152A	C2H4F2	75-37-6	0 - 5000 ppm
Фреон R-245fa	C3H3F5	460-73-1	0 - 5000 ppm
Фреон R-407E	---	---	0 - 5000 ppm
Фреон R-410A	---	---	0 - 5000 ppm
Фтор	F2	7782-41-4	0 - 3 ppm
Фтороводород	HF	7664-39-3	0 - 9 ppm
Хлор	Cl2	7782-50-5	0 - 1,5 ppm
Хлороводород	HCl	7647-01-0	0 - 15 ppm
Хлортрифторэтилен (CTFE)	C2F3Cl	79-38-9	0 - 5000 ppm
Цианистый водород	HCN	74-90-8	0,4 - 30 ppm
Циклогексан	C6H12	110-82-7	0 - 2000 ppm
Циклопентанон	C5H8O	120-92-3	0 - 1000 ppm
Этан	C2H6	74-84-0	0 - 2000 ppm
Этилацетат (EtAc)	C4H8O2	141-78-6	0 - 2000 ppm
Этилен	C2H4	74-85-1	0 - 2000 ppm
Этиленоксид  (EO)	C2H4O	75-21-8	0 - 50 ppm
Этиллактат (LAE)	C5H10O3	97-64-3	0 - 5000 ppm
Этилметиламин (EMA)	C3H9N	624-78-2	0 - 15 ppm
Этиловый спирт	C2H5OH	64-17-5	0 - 2000 ppm
Этилциклогексан	C8H16	1678-91-7	0 - 2000 ppm
1-гексен	1-C6H12	592-41-6	0 - 1000 ppm
2-этоксиэтилацетат	C6H12O3	111-15-9	0 - 3000 ppm
BTBAS	C8H22N2Si	186598-40-3	0 - 15 ppm